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瑞士万通离子色谱应用一芯中有我--电子级HF

点击次数:595  发布时间:2021-01-25

       中美贸易战的大背景下还存在过一场日韩贸易战,大家应该还都有印象,日本对韩禁售电子级HF、氟聚酰亚胺和光刻胶,韩国哀嚎一片。为什么这三类产品对于韩国这么重要呢?

       别的且不说,电子级HF属垄断产品,其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性影响很大,主要用于半导体、太阳能和液晶显示器等领域,是这些行业中关键的辅助材料之一。其中非常大应用市场是半导体产业,约占电子级HF总消耗量47.3%;其次是太阳能产能,比重22.1%;液晶显示器产业则占18.3%。半导体和液晶显示都是韩国的支柱产业,对韩国的重要性不言而喻,因此日本这一招可谓打在韩国的命脉上。因此韩国急忙转向中国,韩国三星、LG、SK海力士等企业开始频频与中国相关企业联系,据说也签订了一些购买协议。

       目前日韩贸易战已经告一段落,中美贸易战却是愈演愈烈,中兴被处罚,华为被全面封锁,中国人民感觉到了芯片产业的重要性,电子级HF做为半导体制作过程中应用非常多的超净高纯试剂之一,质量必须得到保证。

       目前国内现行关于HF的标准只有GB/T 31369-2015《太阳电池用电子级HF》,不过团体标准《电子工业用高HF》和《电子工业用高HF中痕量阴离子含量的测定  离子色谱法》已经完成了意见征集,以上标准中均采用离子色谱来检测HF中的痕量阴离子,离子色谱在保证电子级HF质量方面具有不可或缺的作用。

          瑞士万通离子色谱坚实耐用,整机由瑞士进口,取得“Swiss made”标识的使用资格(至少60%成本在瑞士,赋予产品基本特征的阶段也必须在瑞士进行),十分适合HF中阴离子的检测。

 

       离子色谱法直接分析HF中的痕量阴离子难度较大,高倍稀释虽然能降低高含量的F-的干扰,但大大降低了待测阴离子的灵敏度。二维离子色谱法为此类样品提供了解决方法。HF其实为一种弱酸,它可以在离子排斥柱上保留,因此可利用这一特性,样品在离子排斥柱上预分离,强酸如HCl、HNO3、H2SO4等在排斥柱上不保留,通过阀切换技术,进入第二套阴离子分析系统分析。

 

使用Metrosep Organic Acid做为离子排斥分离柱,淋洗液为超纯水,进样体积250μL,流速0.5mL/min,进行预分离;Metrosep A Supp 10-250做为阴离子分离柱,淋洗液: 5.0mM Na2CO3+5.0mM NaHCO3 ; 流速1.0mL/min,柱温50℃,进行阴离子分析。

 

除电子级HF外,其它高纯试剂如电子级硝酸、电子级磷酸、电子级过氧化氢等原料中痕量阴离子的检测,瑞士万通均可提供完善的解决方案。

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